臺積電副聯席 COO 張曉強：暫無為先進制程導入 High NA EUV 必要

IT之家 5 月 28 日消息，臺積電負責業務開發及全球業務的資深副總經理兼副聯席 COO 張曉強在荷蘭阿姆斯特丹當地時間昨日舉行的公司 2025 年技術論壇歐洲場上表示，臺積電暫無為先進制程導入 High NA EUV 的必要。

張曉強表示，臺積電新近公布的 1.4nm 級邏輯制程 A14 即使沒有導入 High NA EUV 圖案化設備，提升幅度也相當可觀。

他提到，臺積電的技術團隊正繼續努力通過獲取工藝收放效益充分拓展 Low NA EUV 可深入的制程水平，只要這一路線仍能取得進展，那就不必在量產中使用昂貴的 ASML High NA EUV 系統。

IT之家注意到，在三大先進制程企業中對 High NA EUV 技術最為激進的英特爾對實際生產中應用 High NA 也持審慎態度，與臺積電 A14 同等名義制程的 Intel 14A 就有使用或不使用 High NA 的兩種選項。